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【招标】中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）电感耦 合等离子体刻蚀系统采购项目招标公告
一、项目基本情况
项目名称：中山大学电子与信息工程学院（微电子学院）
电感耦合等离子体刻蚀系统采购项目
预算金额：320 万元（人民币）
最高限价：320 万元（人民币）
采购需求：
1、招标采购项目内容及数量：
