【招标】东南大学微纳平台TSV-ALE集成刻蚀系统采购项目公开招标

一、项目基本情况    

项目编号：JC203224093701

项目名称：东南大学微纳平台TSV-ALE集成刻蚀系统采购项目

预算金额：450.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：450.000000 万元（人民币）

采购需求：

项目地点：东南大学无锡校区

项目概况：微纳平台采购TSV-ALE集成刻蚀系统1套，主要技术要求如下        ：    

   （ 一）工艺腔室配置    

   1. 反应腔室独立模块化设计，方便维护与保养    

   2. 作业温度范围可覆盖-20~90 ℃，温度控制±0.5 ℃，可实现深硅刻蚀工艺，可实现GaN、GaAs等多种半导体材料可控原子层刻蚀工艺    

   3. 传送模块配备高精度晶圆位置传感器，可兼容6/8寸晶圆    

   （二）供气与真空系统    

   1. 配备高速响应MFC，响应速度<50 ms，实现精准控制短脉冲式刻蚀工艺中的工艺气体通入流量与时长    

   2. 机械泵抽速不小于600 m3 /h，配备分子泵，腔室极限压力小于4×10-6Torr，真空漏率小于2 mTorr/min    

   3. 配备高精度压力传感器，可实时检测腔室压力，检测范围覆盖0~10 Torr    

   （三）射频等离子体系统    

   配置高功率脉冲射频电源，频率可调；最大功率不低于2000W，最小功率不高于5 W，调节分辨率优于0.1 W；配备偏压Bias射频源，最大功率不小于1000W，最小功率不高于5 W，调节分辨率优于0.1 W。  

不接受进口产品投标，技术参数详见招标文件。        

   行业划分：工业    

   本项目 (非专门)面向中小企业采购。    

   本项目(非专门)面向监狱企业来购。    

   本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。    

合同履行期限：合同签订后90天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受   )联合体投标。

   二、申请人的资格要求：    

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；        

（1）具有独立承担民事责任的能力（提供法人或者其他组织的营业执照；供应商为自然人的，提供其身份证）；

（2）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；

（3）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力（供应商根据履行采购项目合同需要，提供履行合同所必需的设备和专业技术能力的证明材料）；

（4）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录（提供参加本次政府采购活动前半年内至少一个月：1提供缴纳税收的凭证；2提供缴纳社会保险的凭据（专用收据或社会保险缴纳清单）），依法享受免缴、缓缴的，提供证明材料；

（5）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（提供承诺书）；

（6）法律、行政法规规定的其他条件：无

2.2落实政府采购政策需满足的资格要求：无 。    

2.3采购人根据采购项目的特殊要求规定的特定条件，并提供符合特殊要求的证明材料或者情况说明：     无。

 2.4第2.1（5）条所称重大违法记录，是指供应商因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。

2.5 供应商在参加政府采购活动前3年内因违法经营被禁止在一定期限内参加政府采购活动，期限届满的，可以参加政府采购活动。

2.6单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。

为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。

2.7拒绝列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单 及其他不符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定条件的供应商参与政府采购活动。

3.本项目的特定资格要求：无。

三、获取招标文件    

时间：2024年10月31日至 2024年11月07日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:30在网上报名并获取招标文件。（北京时间，法定节假日除外）

售价：￥400.0  元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点    

提交投标文件截止时间：2024年11月21日 09点30分（北京时间）

开标时间：2024年11月21日 09点30分（北京时间）

地点：详见招标文件。

五、公告期限    

自本公告发布之日起5个工作日。

六、联系方式