纯度99.999999999%！“洛阳造”电子级多晶硅中试成功

昨日，一块块散发金属光泽的深灰色电子级多晶硅，在洛阳中硅高科技有限公司多晶硅制备车间新鲜出炉，它们的目的地，是麦斯克电子材料股份有限公司等下游集成电路企业。

“龙门实验室联合企业推进的重大项目‘先进硅基光电功能材料’前不久已中试成功，标志着实验路线正式得到工艺验证。”在龙门实验室，智能装备先进材料科创中心主任潘昆明难掩心中激动。

中硅高科，诞生中国第一条规模化生产多晶硅生产线的地方，如今在与龙门实验室的“共舞”中，找到了创新突围新的方向——电子级多晶硅。

电子级多晶硅是制造半导体芯片的原材料，被称为电子信息产业的“粮食”。以电子级多晶硅为原材料制造的硅片，经过后期的打磨、抛光、蚀刻、光刻、封装等环节，变身一颗颗高附加值的芯片，嵌入到手机、电脑、汽车等终端产品中。

潘昆明介绍，相比起光伏级多晶硅99.9999999%，也就是9N的纯度，电子级多晶硅的纯度要求高达11N，是前者的100倍。“打个比喻，就好像在国际标准泳池里最多掺一滴墨水，再多纯度就不合格了。”潘昆明说。

复杂技术壁垒下，世界电子级多晶硅生产企业主要集中在美、日、德三国。我国半导体硅片制造用的电子级多晶硅95%以上依赖进口。突破电子级多晶硅生产技术，对于保障我国集成电路产业的战略安全意义重大。

去年以来，龙门实验室牵头联合中硅高科和麦斯克公司，打通电子级多晶硅制备和应用等多个环节，逐步突破超低金属杂质控制等核心关键技术。

在项目推进过程中，龙门实验室充分发挥自身基础研究优势，为研发提供化学、分子动力学等方面的分析和模拟。“我们通过理论推导和计算模拟，使得数以百计的工艺组合效果在电脑上精确推导，大大减少企业在生产线上试错的成本，提高了研发的质效。”潘昆明说。

自去年3月揭牌以来，龙门实验室既向上紧盯国家战略需求，聚焦河南“十大战略”，又向下扎根本地市场，充分发挥洛阳十大产业集群优势，凝练了“先进硅基光电功能材料”等6个重大项目，涵盖农机装备、光电元器件、电子化工材料等领域。这些项目技术需求均来自中信重工、中国一拖等洛阳重点企业，科研成果直接服务于企业发展，实现创新链与产业链的“无缝对接”。

“未来，我们将持续推进6个重大项目，力争年底前取得一批标志性科研成果，助力洛阳‘风口’产业发展以及国家高水平科技自立自强。”中国工程院院士、龙门实验室主任樊会涛语气坚定地说。