眉山琏升光伏取得用于异质结磁控溅射设备破空装置专利，加快破空速度

2024年12月23日消息，国家知识产权局信息显示，眉山琏升光伏科技有限公司取得一项名为“一种用于异质结磁控溅射设备的破空装置”的专利，授权公告号CN 222182426 U ，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种用于异质结磁控溅射设备的破空装置，包括接入磁控溅射真空腔体中的破空管路；所述破空管路未接入腔体的一端连接破空气罐，所述破空气罐包括进气口和出气口所述破空气罐的进气口连接 CDA 供气管路；所述破空气罐的出气口连接有用于控制气罐的出气速度的第一阀门；所述破空气罐的进气口连接有用于控制气罐的进气速度的第二阀门。本实用新型的装置借助 CDA 供气和气罐进行破空，不仅能够加快破空速度，保障工作腔室内的洁净，还能够避免破空过程对 CDA 整体供气管路内的压力影响，减少误报，保障工作高效稳定进行，提升设备稼动率。