2024年12月23日消息,国家知识产权局信息显示,眉山琏升光伏科技有限公司取得一项名为“一种用于异质结磁控溅射设备的破空装置”的专利,授权公告号CN 222182426 U ,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种用于异质结磁控溅射设备的破空装置,包括接入磁控溅射真空腔体中的破空管路;所述破空管路未接入腔体的一端连接破空气罐,所述破空气罐包括进气口和出气口所述破空气罐的进气口连接 CDA 供气管路;所述破空气罐的出气口连接有用于控制气罐的出气速度的第一阀门;所述破空气罐的进气口连接有用于控制气罐的进气速度的第二阀门。本实用新型的装置借助 CDA 供气和气罐进行破空,不仅能够加快破空速度,保障工作腔室内的洁净,还能够避免破空过程对 CDA 整体供气管路内的压力影响,减少误报,保障工作高效稳定进行,提升设备稼动率。