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捷佳伟创:国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备即将交付客户
来源:证券时报网 / 阅读次数:375 / 发布时间:2023-09-11
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捷佳伟创消息,近日,公司子公司常州捷佳创精密机械有限公司国内首台完全自主研发的电子级硅芯清洗设备成功下线,将于近日部署至某合作客户处。此款硅芯清洗设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备,可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程。
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