天眼查知识产权信息显示,新疆大全新能源股份有限公司取得一项名为“一种多晶硅的生产还原工艺“,授权公告号 CN114735706B,申请日期为 2022 年 4 月。
专利摘要显示,本发明为一种多晶硅的生产还原工艺。一种多晶硅的生产还原工艺,包括:(1)三氯氢硅通过管线 1 输送到 E1 模块,加热到 60‑100℃后,通过管线 2 输送到 T1 模块;氢气通过管线 3 输送到 E2 模块,加热到 100‑180℃后,通过管线 4 输送到所述的 T1 模块;(2)所述的三氯氢硅和氢气在所述的 T1 模块混合后,通过管线 5 输送到 E3 模块,再通过管线 6 输送到 T2 模块进行热沉积,并进行余热的回收。本发明所述的一种多晶硅的生产还原工艺,通过连续耦合对热量进行利用,最大化的利用自身的热能,在多晶硅高效还原生产环节提供了全套的能耗最低的工艺系统,提供一整套完整的循环节能控制方案。