大陆半导体设备9成以上依赖国外进口,但这样进口依存的态势很可能在太阳能产业翻转,目前包括大陆本土知名的设备厂商中电科技集团公司第48研究所、七星华创、中电科技集团公司第45所等皆积极投入太阳能全套与单点设备研发、送样。大陆半导体设备业者表示,大陆本土太阳能设备成本低廉,1套国外设备可以购足3套本土设备,外商设备很难具成本竞争力。
大陆半导体业者指出,目前大陆90%以上的半导体设备依赖进口,尤其在先进IC设备领域,几乎没有大陆设备业者的声音,近几年来中微半导体在12寸先进制程设备开发上则是一枝独秀,但也招来不少国际大厂的官司纠纷,让许多有意跨入半导体设备的业者只能低调行事。但此一状态可能在太阳能设备上一改劣势。
由于太阳能设备、LED发光二极管等设备技术门槛不若IC设备来得高,因此对许多大陆本土设备业者而言,正是一个切入的良机,过去在IC设备领域,只见得到外商品牌,很难容得下本土品牌,但是目前太阳能设备从从矽晶圆材料生产、加工到纯水设备、环保处理、净化工程等建设,大陆业者逐步具备成套供应能力。
中电科技集团公司第48研究所副所长王俊朝便表示,目前包括扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等设备都已开始少量出口。太阳能设备业者初估,目前大陆生产的太阳能电池元件比国外价格低了30%左右,很大一部分原因是设备价格低廉,用国外设备建1条线的钱,可以买大陆3条设备。
更让业者无所畏惧的是,大陆太阳能产业相对起步早,已经是全球最大的太阳能电池生产地区,这项优势更让设备业者拥有强大的市场需求做为靠山。
除了中电科技第48所以外,中电科技集团第45所也正适应市场需求,调整产品结构,加快新产品开发,希望2009年能够正式推出销售。中电集团以外,七星华创目前也正在开发多晶矽及薄膜太阳能设备,在LCD清洗及电浆化学气相沈积(PECVD)设备方面也正在加强5代、6代线设备的研发。