多晶铸锭类工程师试题及答案

作者:    浏览:2761    发布时间:2012-8-29 16:32:37

一般而言,每年的九月份不仅是新生们入学考试的季节,也是工作岗位上的工程师们考试的月份,考试的结果将直接影响到工程师们是否能够晋级加薪,因此这样的考试的重要性丝毫不亚于学校里学生们求过的期末考试。

一、填空题10*2

1.气体模式下,最大压力值(900mbar);真空模式下,最大压力值(5mbar)。

2.DSS炉最大允许温度(1575℃);最大温度允许持续时间(120秒)。

3.气体模式下,压力误差值(200mbar)。

4.太阳能级硅的固态和液态的密度分别(2.33)g/cm3(2.53)g/cm3。

5.测量炉腔压力的两个压力计量程各为(1~1000),(0~1)。

6.从能量转换角度来讲,硅熔化过程是(吸热),长晶是(放热)。

7:DSS炉有几种工艺报警(熔化结束报警)(中心长晶报警)(边角长晶报警)(冷却结束报警)。

8.热传导方式有哪几种(热辐射)(热对流)(热传导),多晶铸锭炉的热传导方式以什么为主(热辐射)。

9.多晶铸锭工艺过程中温度控制模式是从(熔化的第一步)到(退火的第二步)。

10.多晶铸锭炉铸锭工艺过程中,从(加热第一步)步到(熔化第一步)步是真空模式。
 

二、选择题:(15*2)

1.电源最大功率是(A)。

A.165KVA B.163KVA C.160KVA D.168KVA

2.Ar流量误差最大报警值是(A)。

A:10% B.15% C.12% D.20%

3.DSS炉自动运行中断水多少秒后会关闭加热器(C)。

A:5S B.10S C.20s D.30s

4.TC2允许的最大温度为(A)℃。

A:1600 B.1550 C.1570 D.1575

5.加热跳转到熔化的条件是(B)。

A:TC1=1170℃ B.TC1=1175℃ C.TC2=1170℃TC2=1175℃

6.炉子在运行中TC管路压力低于多少说明存在泄露(A)。

A.900mbarB.950mbarC.1000mbarD.920mbar

7.暂停多少分钟会报警提示(C)。

A:20B.15C.30D10

8.观察孔不在原位多长时间(min)会报警(B)。

A.15B.10C.20D.30

 

9.罗茨泵在压力为多少mbar时打开(D)。

A:20B.30C.40D.50

10.V1阀在压力为多少mbar时打开(C)。

A:100B.150C.200D.250

11.哪个热电偶控制DSS炉运行(A)。

A:TC1B.TCOTC.TC2D.PYRO

12.检查真空泵油位高是否符合标准,实际的油位应在(A)。

A:1/3《h《2/3B:h《1/3C:h》2/3D:1/3《h《3/4

13.测长晶时我们的视线与石英棒上端的扎带(D)。

A:俯视B:仰视C:斜视D:平视

14.在预抽真空前,泵应预热(A)分钟。

A:10B:20C:30D:40

15.运行中F6水温曲线变化在哪个阶段最明显(C)。

A:加热阶段B:溶化阶段C:长晶阶段D:冷却阶段

五、简答题(6*5)

1.多晶铸锭炉TC1失效后如何处理?

答:TC1失效,温度显示超过1575引发120秒断电倒计时。

一般TC1失效不会引发断电,处理是先尝试复位,复位无效后选择好对应配方的功率曲线引用即可,但TC1失效后温度显示高于1575会引发最大温度紧急报警,此时若不立即处理120秒后DSS炉会自动切断电源。我们可以在这120秒内立即拔出TC1外部接头进行短接或立即引用功率曲线运行,DSS炉会停止倒计时。

2.多晶铸锭炉在装料前,需要做哪几项检查?

答:1:确定有无报警,2:检查水流是否偏低。3,检查真空泵是否缺油。4检查加热进区:螺栓是否松动,六个电极是否正常,有无烧坏,溢流线和溢流棉是否完好,TC2氧化锆管是否开裂,加热区是否清洁等,5,recipe和主参数值是否对应正确

3.如何判断中心长晶和边角长晶结束?

答:中心长晶触发报警值pyrometerslopetrigger》6,在曲线图像上能清楚地看到高温曲线上升,并在meltandgrowthendscreen上也能看到高温曲线上升,另外在炉盖上观察窗,查看是否中心长晶结束再决定是否延时,及延时的时间。而边角长晶报警在曲线上能看到功率曲线有明显的上升,并在meltandgrowthendscreen也能看到功率曲线上升,一般情况,上升后平稳就可以结束边角长晶。

4.DSS450多晶铸锭炉SPILL报警后如何处理?

答:当发现报警后我们可以根据当前的阶段判断是否直接紧急冷却。当前阶段若存在硅液应立即紧急冷却,若不存在硅液则为假报警,一般为模块或线路故障,但DSS炉同样会5秒后进入E-cool,此时我们可以连接上加热器,将E-cool步骤的参数修改成当前步骤的参数,保证DSS炉温度不降,等电工修复后再跳回运行的时的步骤。

 

5.简述DSS450多晶铸锭炉F1到F8各自冷却的部位和报警值及紧急报警值。

答:

冷却位置报警值紧急值

F1~F3三组加热电极75

F4上炉腔上部和顶盖75

F5上炉腔主腔室75

F6下炉腔上部2015

F7下炉腔下部2015

F8真空泵和出气管道42

6.长晶阶段长晶速率过慢可以通过那些措施调整?请用示意图描述正常长晶曲线。

答:长晶阶段速率过慢一般有以下措施:1)逐步提高offset(降低配方温度);2)提高隔热笼高度;3)还可以结合提高offset(降低配方温度)和提高隔热笼位置。

五、论述题(1*20)

在我们的研发过程中常会遇到一些研发技术问题,或者生产过程的问题;作为研发工程师应该通过一些方案去分析并解决这些问题。

案例:在某铸锭车间生产出来的硅锭合格率下降,其中中部杂质点所造成的不良率就高达7%比正常的2%高出5个百分点。

请根据这个问题制定一个方案来分析杂质不良这一问题以及制定解决方案。